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层流罩的介绍及广泛运用

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层流罩其实指的是风机和过滤器的组合,在实践运用中,通常是将该设备装置在洁净室的送风结尾,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。依据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效或超高效过滤器,为洁净室供给洁净空气。






层流罩的具体介绍:



首先在运用上具有杰出的灵活性。这是由于其在运转过程中是自带动力的,不受区域的约束。在一个偌大的洁净厂房里,可依据需求,分区操控。并且,跟着半导体生产工艺的改变,厂房布局必定要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,并且不会带来二次出资。






其次是具有可再利用的特性。也是说,暂时不再运用的层流罩设备,能够拆下来,密封好,妥善保管,留下下次运用。






第三,其具有负压通风的特征。这是层流罩所独具的优势之一,这是由于其自身能够供给静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒不会遭到压力的效果走漏到洁净区里,使得密封变得很简单并且安全。






第四是能够有用的缩短建设周期。在施工过程中,由于运用了层流罩设备,因此不需求在进行风管的制作和装置,由于风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个出资者都期望出资能赶快带来收益,选用该净化设备成为了一种或许。






此外还有助于下降运转本钱,尽管咱们在选用层流罩产品的时分,初期出资或许会比运用风管通风高,但它在后期运转中,杰出的表现出节能、免保护等特色。因此全体上是较为经济的。

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